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                                您当前的位置:首页产品中心ALICAT 气体质量流量控制器 21系列

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                                ALICAT 气体质量流量控制器 21系列

                                量程0-0.5 SCCM到0-5000 SLPM,量程比200 : 1,内置98?#21046;?#20307;,100 ms 快速响应时间,优于1 %的精度

                                美国ALICAT 21系列标准型质量流量控制器,采用内部补偿型层流压差专利技?#37232;?#20351;得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正。所有ALICAT质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。ALICAT的21系列数?#36136;?#36136;量流量控制器可用于快速精?#36820;?#27979;量并控制过程气体的质量流量、体积流量、压力,并显示气体温度,适用于多种流量测控场合。设备采用快速稳定的优质电磁阀以及优化的PID调校,可达到优于100 ms的控制速度,并保持极佳稳定性,并有超低压降产品可供您选择。

                                应用及案例


                                ● 大学/研究所         ● 环境监测

                                ● 真空行业及镀膜   ● 工?#24503;?#31377;
                                ● 半导体                 ● 汽车制造
                                ● 光伏                    ● 燃料电池
                                ● 计量                    ● 过程工艺气体测量

                                 


                                产品特色


                                ●  数字化产品
                                ●  多参数显示和输出:温度、压力、流量等
                                ●  多参数控制,如体积流量、质量流量和压力
                                ●  标配三种控制方式:数字、模拟和本地面板
                                ●  可选高精度:优于0.5%
                                ●  高量程比 200:1
                                ●  响应时间快 仅需100ms
                                ●  内置98?#21046;?#20307;
                                ●  可现场标定混合气体,并存储20种混合气


                                性能指标


                                量       程    0-0.5 SCCM   ——   0-5000 SLPM

                                量 程  比    200 :1 

                                介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

                                介质种类    内置了98?#21046;?#20307;,请参考背面气体兼容表

                                                   一台设备内置所有气体,用户可现场选择

                                精       度    ±(0.8 %读数 + 0.2 %满量程)

                                高 精  度    ±(0.4 %读数 + 0.2 %满量程),选配

                                                   仅适用于量程为5 SCCM-500 SLPM的设备

                                重 复  性    ± 0.2 %满量程

                                最大可控流量    102.4 %满量程

                                显 示  屏    带按键,标准为LCD显示屏,可选TFT彩色显示屏

                                显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

                                零点漂移&满量程漂移    0.02% 满量程/ ℃/ Atm

                                响应时间    100 ms(可调)

                                预热时间    <1s

                                标定工况    25 ℃ & 100 KPa 绝压、(其它标况可调)

                                工作温度    -10 ~ 60 ℃

                                工作湿度    0-100 %,无冷凝

                                最大工作压力    1 MPa  表压

                                极限耐压    1.2 MPa  表压

                                数?#36136;?#20837;/输出信号    RS232、RS485、Modbus、Profibus*

                                模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

                                可选第二路模拟输出    质量流量、体积流量、压力、温度

                                供电电压    7-30 VDC (如选4-20 mA输出,须为15-30 VDC )

                                供电电流    250 mA - 750 mA

                                电气接口    8针Mini-DIN、DB9、DB15、6针工业接头

                                材       质    302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝、黄铜、430FR不锈钢、硅、玻璃

                                安装方式    对位置无要求

                                防护?#29123;?nbsp;   IP40

                                *如选Profibus,则无模拟信号,无显示,其供电电压及供电电流需来电垂询。


                                选项配件


                                标准性能
                                多功能数字显示屏
                                显示多种测量参数:质量流量、体积流量、温度和压力
                                低压损
                                无需预热
                                Viton密封
                                8针mini-DIN电信号接口
                                标准圆形电源接口
                                RS-232多点式数?#36136;?#20986;
                                RS-232多点式数?#36136;?#20837;
                                0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选
                                0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模拟信号输入可选
                                可调节PID算法 
                                内置30?#21046;?#20307;可选
                                200:1 量程可调比
                                NPT接头
                                可控制从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量
                                有条件的终身质保


                                可选性能
                                高精度
                                累加器
                                6针、DB9或DB15电信号接口
                                ProfiBUS数?#20013;?#21495;输出
                                RS-485数?#20013;?#21495;输出
                                4-20mA模拟信号输出
                                第二种模拟信号输出
                                TFT背光彩色显示屏
                                远程显示屏
                                远程TFT背光彩色显示屏
                                丙烯酸绝?#20302;?#23618;
                                EPDM密封
                                NeSSI本体
                                氧气清洁
                                用于高温环境的远程电子包装
                                SAE接头
                                VCR, VCO接头
                                5VDC、12VDC、24VDC?#29260;?#37327;报警(过高或过低)
                                双向流动
                                额外标定点
                                定制混个气体(最多4种)
                                定制流量范围
                                不锈钢阀门
                                高流量低压损阀门
                                防爆选项
                                集成式电位计控制


                                安装手册

                                1


                                机构认证

                                1


                                尺寸详图


                                                         ALICAT 21系列18V1.jpg



                                产品大图

                                1


                                型号列表

                                1


                                气体编码表


                                选型表截图长图.png


                                篮球比分直播网雷速

                                
                                
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                                                                                            内蒙古时时十一选五结果查询 胜负彩场开奖结果查询 后三星基本走势图 vr赛设备价格 20倍投方案 够力七星彩奖表长条图 赛车pk10心得方法 天津时时实体店 幸运8下载 重庆时时开奖官网更改时间 麻将手游代码 11选5开奖结果贵州走势图 快三大小单双走势规律 河北时时现场结果查询 4887王中王鉄算盘开奖结 赛車pk10中奖奖金